22日，記者從中國科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所獲悉，該所旗下長(zhǎng)春光華微電子設(shè)備工程中心有限公司（以下簡(jiǎn)稱“光華微電子”）成功研制出國內(nèi)首臺(tái)商用12英寸全自動(dòng)晶圓探針臺(tái)。

晶圓探針臺(tái)是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一，用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的晶圓測(cè)試環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。在這個(gè)過程中，晶圓探針臺(tái)可以將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來，在進(jìn)入后序工序前予以剔除，從而大幅度降低器件的制造成本。

晶圓探針檢測(cè)過程技術(shù)難度極大?！皺z測(cè)過程要求，在0.3秒內(nèi)，晶圓探針臺(tái)的幾千到幾十萬根探針分別精準(zhǔn)地對(duì)應(yīng)到一個(gè)個(gè)大小約為頭發(fā)絲橫截面四分之一的Pad盤上。”光華微電子董事長(zhǎng)田興志說。

由于探針臺(tái)技術(shù)門檻較高，目前市場(chǎng)處于雙強(qiáng)壟斷態(tài)勢(shì)，東京電子(TEL)和東京精密(TSK)兩家日本公司占據(jù)了絕大部分市場(chǎng)份額。光華微電子于2015年正式立項(xiàng)開展12英寸全自動(dòng)探針臺(tái)產(chǎn)品研發(fā)，2019年起，先后在功率半導(dǎo)體器件、光電探測(cè)器、邏輯半導(dǎo)體器件的知名企業(yè)進(jìn)行了樣機(jī)測(cè)試?！皽y(cè)試結(jié)果表明，產(chǎn)品已經(jīng)能夠滿足產(chǎn)線生產(chǎn)要求，已經(jīng)具備替代國外進(jìn)口設(shè)備用于晶圓探針檢測(cè)的能力。”田興志說。

他表示，光華微電子研制的APT121A型探針臺(tái)，作為國內(nèi)第一款商業(yè)化的12英寸全自動(dòng)晶圓測(cè)試探針臺(tái)，其性能指標(biāo)已經(jīng)達(dá)到或者接近國際水平。國產(chǎn)APT121A型探針臺(tái)能夠有效降低晶圓測(cè)試廠的采購及維護(hù)成本。隨著市場(chǎng)推廣和設(shè)備性能的不斷改進(jìn)和提升，必將對(duì)推動(dòng)我國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展產(chǎn)生積極作用。